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等离子清洗机PLUTO-30

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Pluto30参数

腔体

腔体尺寸

300W x 280H x 366Dmm

容量

30L

电极数量

最多可达7

电极

电极间隙

48mm

功率电极尺寸

226W x 210D mm

接地电极尺寸

260W x 210D mm

射频系统

射频功率和频率

300W/13.56MHz

气体控制

MFC控制器

标配1MFC,最多4MFC控制器

系统控制

7寸工业触控屏

全数字控制,实时显示工作状况,可设定操作权限和各种报警值,可储存工艺方案

真空泵系统

油泵

32m³/h

功率

220V/10A50Hz,单相,3线

尺寸

外形尺寸

706W x 804D x 735H mm

特别装置

需求

工艺气体

0。25英寸。 气管快接.适用于 15-20psig;

净化气

0.25英寸. 气管快接. 适用于10-100psig

CDA

0.25英寸. 气管快接。 适用于60-90psig

排气接口

KF40

可选项

液体前驱体输送系统

500W/13。56MHz射频系统

37m³/h 干泵

排气洗涤器

油雾消除器

 

特征及优势

专利气体输送系统,提供气体分配均匀性和灵活的气体分配方法

不同工艺模式(RIE、下游等离子体等)的柔性电极配置

独特的射频系统提供卓越的工艺重复性和处理效率

全自动处理能力

图形用户界面支持配方编辑器、配方驱动流程并提供实时流程信息

台式设计需要较小的占地面积

 

 

典型应用

表面活化

提高表面能量以提高材料粘合性:预压模粘合;预焊线粘合

增强表面胶体流动性:预成型;预倒装芯片下溢

 

表面粗糙度和蚀刻

降低表面应力,改善表面粘结性

 灰化和表面清洁


Plasma等离子蚀刻(配备RIE配置)

电介质/III-IV材料

 

纳米涂层(配备液体前体输送装置)

耐水纳米涂层:印刷电路板表面处理

防腐纳米涂层:医疗器械,医疗植入物


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